高精度测量显微镜MF/MF-U系列产品技术参数:
型号 |
HyperMF-B2515B |
HyperMF-UB2515B |
HyperMF-UD2515B |
HyperMF-UE2515B |
HyperMF-UF2515B |
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货号 |
176-430*1 |
176-431*1 |
176-432*1 |
176-433*1 |
176-434*1 |
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光路 |
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有限校正光学系统 |
无限校正光学系统 |
无限校正光学系统 |
无限校正光学系统 |
无限校正光学系统 |
标准分划板(内置) |
90o点划线十字线(线宽5μm) |
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可调瞳距 |
西登托夫型调节范围:51-76mm |
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光路切换比 |
观察/TV显微摄影=50/50 |
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垂直倾斜度 |
25o |
倾斜 |
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TV端口 |
作为标准配置提供 |
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观察图像 |
正像 |
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目镜 |
放大倍率 |
10X, 15X, 20X |
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物镜(可选) |
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可选单筒目镜(配有一个目镜) |
配备两个10X目镜 |
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ML系列物镜 |
1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X |
— |
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BF(亮视场) |
— |
M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo |
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BD(亮/暗视场) |
— |
BD Plan Apo, BD Plan Apo SL |
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转塔(可选) |
BF(亮视场) |
— |
(配有四孔手动传感器/电动五孔传感器*2) |
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BD(亮/暗视场) |
— |
(配有四孔手动传感器/电动五孔传感器*3) |
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聚焦部分 |
工件高度 |
可达150mm |
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测量精度 |
(1.5+0.01L) μm L:测量长度(mm) |
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驱动方式 |
使用控制手柄进行电动控制 |
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照明装置 |
透射照明装置 |
远心光学系统,内置孔径光阑,卤素灯泡(12V,50W),100级光强度可调,光纤冷光照明 |
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反射照明装置 |
科勒照明,可变孔径光阑机制,卤素灯泡(12V,100W),100级光强度可调,光纤冷光照明 |
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工作台 |
测量范围(XxY) |
250×150mm |
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测量精度*4(X和Y轴无负载) |
(0.9+0.003L) μm L:测量长度(mm) |
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工作台台面尺寸 |
460×350mm |
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载物玻璃有效尺寸 |
300×200mm |
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旋转角度 |
±3o |
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承重 |
30kg |
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驱动方式 |
使用手柄进行电动控制 |
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检测器 |
高精度光栅尺(砖利) |
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数显 |
分辨力 |
0.01μm |
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显示轴 |
X, Y, Z |
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数据处理装置 |
QM-DATA200或Vision Unit |
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操作部分 |
手柄急停按钮 |
可用 |
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精细间距 |
可用 |
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数据输出 |
可用 |
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数字显示复位 |
可用 |
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照明光强度控制 |
可用 |
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LAF(只对焦) |
— |
— |
可用 |
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LAF(跟踪对焦) |
— |
— |
可用 |
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转塔控制 |
— |
可用 (安装电动转塔时) |
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重量 |
显微镜主机 |
约250kg |
约255kg |
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电源装置 |
14kg |
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电源 |
100 - 240V AC, 50/60 Hz *大功耗:700W |
产品特点 |
★MF-U 系列的电动型。X、Y 和 Z 轴均为电动控制,工作台可由控制手柄进行操作。 |
BF(亮视场) |
型号 |
MF-UG2017D |
MF-UG3017D |
MF-UG4020D |
MF-UE2017D |
MF-UE3017D |
MF-UE4020D |
货号 |
176-784*1 |
176-785*1 |
176-786*1 |
176-790*1 |
176-791*1 |
176-792*1 |
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BD(亮/暗视场) |
型号 |
MF-UH2017D |
MF-UH3017D |
MF-UH4020D |
MF-UF2017D |
MF-UF3017D |
MF-UF4020D |
货号 |
176-787*1 |
176-788*1 |
176-789*1 |
176-793*1 |
176-794*1 |
176-795*1 |
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观察图像 |
BF(亮视场),DF(暗视场) (仅MF-UC和MF-UD型),偏光,微分干涉对比(DIC)/正像 |
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目镜 |
屈光度调节 |
10X(标准选件) (视场数:24),15X,20X |
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物镜(可选) |
BF(亮视场) |
M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有镜头) |
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BD(亮/暗视场) |
BD Plan Apo, D Plan Apo HR, BD plan Apo SL (所有镜头) |
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照明装置(二选一) |
LED照明装置 |
透射照明:远心光学系统,内置孔径光阑,白色LED光源,无极亮度调节,冷却风扇 |
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卤素照明装置 |
透射照明:远心光学系统,内置孔径光阑,卤素灯泡(12V, 50W),无极亮度调节,冷却风扇 |
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影像AF*2 |
√ |
√ |
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激光AF*2 |
一 |
√ |
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XY轴 |
测量范围 |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
Z轴 |
测量范围 |
220mm |
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测量精度*3 |
(X和Y轴无负载) |
(2.2+0.02L) μm L:测量长度(mm) |
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数显计数器 |
分辨力 |
1/0.5/0.1μm 可切换 |
型号 |
MF-G2017D |
MF-G3017D |
MF-G4020D |
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货号 |
176-781*1 |
176-782*1 |
176-783*1 |
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观察图像 |
BF(明视场)/正像 |
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目镜 |
屈光度调节 |
10X(视场数24),15X,20X |
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物镜 |
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ML系列3X物镜(标配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X |
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照明装置(二选一) |
LED照明装置 |
透射照明:远心光学系统,内置孔径光阑,白色LED光源,无极亮度调节,冷却风扇 |
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卤素照明装置 |
透射照明:远心光学系统,内置孔径光圈,卤素灯泡(12V, 50W),无极亮度调节,冷却风扇 |
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影像AF*2 |
? |
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XY轴 |
测量范围 |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
Z轴 |
测量范围 |
220mm |
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测量精度*3 |
(X和Y轴无负载) |
(2.2+0.02L) μm L:测量长度(mm) |
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数显计数器 |
分辨力 |
1/0.5/0.1μm 可切换 |


